Since 2004, our University project has become the Internet's most widespread web hosting directory. Here we like to talk a lot about web servers, web development, networking and security services. It is, after all, our expertise. To make things better we've launched this science section with the free access to educational resources and important scientific material translated to different languages.
Georgia Tech a Nanotehnologia
Source: http://www.nanolithography.gatech.edu/about.html
 Georgia Tech a Nanotehnologia Centrul de Cercetare (NRC), funcţionează în prezent un JEOL JBX-9300FS 100kV litografice sistem cu fascicul de electroni. JBX-9300FS dispune de un fascicul de la faţa locului, vector de scanare, un pas şi scena se repetă, şi este capabil de diferite dimensiuni fascicul larg.Sistemul său de corecţie dinamic elimina defocalizării rezultă din deformarea fasciculului. Sistemul este versatil în explorarea unor noi frontiere în domeniul nanotehnologiei, inclusiv cercetarea de bază a dispozitivelor electronice, elemente optice, şi optice avansate şi nano-amprenta măşti litografică, pentru a numi doar câteva. Alte puncte importante despre JBX-9300FS includ un diametru 4nm cu fascicul de electroni, tensiune 50kV/100kV accelerarea, şi ZrO / W termice de emisie sursa de câmp. Sistemul are mai puţin de 20nm precizie cusut domeniu şi mai puţin de 25nm precizie de suprapunere la 100kV. Instrumentul nostru a demonstrat latime 19nm linie cu modele în ZEP520 grosime 40nm rezista. Din bucăţi mici de pana la 300mm (12 "), napolitane pot fi manipulate cu un maxim de 9" a scris zonă. În plus, 5 "si 6" bucati patrate Masca poate fi încărcat. Georgia Tech JBX-9300FS electroni sistem de litografiere fascicul a fost şi funcţionează din iunie 2004 şi a servit primul client în iulie 2004. Proiecte active de cercetare folosind instrumentul include subiecte cum ar fi de înaltă rezoluţie avansată chimic amplificat rezista, cuantumul punct de fabricare, T-poarta structurare pentru dispozitive de înaltă HEMT viteză, de înaltă rezoluţie, nano-amprenta timbre relief, şi detectoare de mare viteză foto. JBX-9300FS este operat de catre Devin Brown si Murali Raghunath, ambele ingineri de cercetare privind personalul de la Centrul cercetării în domeniul nanotehnologiei. Pentru mai multe informaţii despre litografie cu fascicul de electroni de la Georgia Tech vă rugăm să contactaţi fie Devin sau Raghunath. |
|||
Published (Last edited): 17-02-2012